MFCによくある50の質問(FAQ) 目次

MFCによくある50の質問(FAQ) 目次　です。
そういえば、これが無いと、わかりにくいですよね。

1:MFC/MFMとは、それぞれ何ですか？
2:MFC/MFMでは、どのようなガスを測定できますか？
3:どうしてMFC/MFMは多種の流体を測定できるのか？
4:MFC/MFMでは、何℃のガスが測定できるのか？
5:MFC/MFMでは、どのくらいの圧力まで耐えられますか？
6:MFMと面積式流量計（フロートメータ）の違いは何ですか？
7:旧式バイパスセンサとインラインセンサの違いは何ですか？
8:MFC/MFMに直間部は必要ですか？
9:MFC/MFMのキャリブレーション（校正）は？
10:食品業界の特殊認証を取ったMFC/MFMはありますか？
11:防爆認証を取得したMFC/MFMはありますか？
12:フィールドバスができるMFC/MFMはありますか？
13:くい込み継手で配管できますか？
14:MFC/MFMの上についてるLEDは何ですか？
15:MFC/MFMの漏れの基準は、どの程度ですか？
16:特殊電源は必要ですか？
17:MFCの制御幅（スパン）は、どのくらいですか？
18:MFCのスパンを決定する要素は何ですか？
19:ガスを変更することはできますか？
20:どうやって、キャリブレーションしているんですか？
21:どうして、実ガスで校正する必要があるのですか？
22:フルスケールレンジ(Qnenn)って、何ですか？
23:フルスケールレンジに、入口/出口の圧力は影響しますか？
24:フルスケールレンジは、どんな気体でも同じですか？
25:MFC/MFMの体積流量換算は、どうなっていますか？
26:体積流量のスタンダードとノーマル(ノルマル)って、何が違うんですか？
27:体積流量では、スタンダードとノーマル(ノルマル)のどちらを使えばいいのですか？
28:MFCは、横向きでも、縦向きでも使えますか？
29:キャリブレーション圧力と使用圧力は、違っても大丈夫ですか？
30:繰り返し性(repeatability)とは、何ですか？
31:MFCで、天然ガスは測定できますか？
32:塩素ガスやオゾンガスは、測定できますか？
33:MFCに水が入ると、どうなりますか？
34:ガス（気体）中に、粉などの固形物があっても、大丈夫ですか？
35:特殊なガスの場合でも、対応できますか？
36:オートチューンとは、どのような機能ですか？
37:当初予定していた流量・圧力が変わってしまった場合、再校正するだけで、使用できますか？
38:MFCを再校正で返却したとき、比例電磁弁は交換しますか？
39:再校正に必要な時間は、どのくらいですか？
40:故障修理依頼の場合、どのような情報が必要ですか？
41:MFCでタイトシャットは可能ですか？
42:パソコンとの通信ソフトは、有料ですか？
43:Type8626は制御範囲が広いですが、すべて同じ形の製品ですか？
44:最低動作差圧は、どのくらいですか？
45:真空で、MFCは使えますか？
46:アナログ信号は、どのタイプに対応していますか？
47:トレーサビリティーの証明書の発行は、可能ですか？
48:Type8626のアンモニア仕様とは、どのようなものですか？
49:MFCの制御係数の変更はできますか？
50:今後のビュルケルトの展開について、教えてください。

自分で言うのもなんですが、こんなにも、よく書いたなって感じです。
とは言っても、MFC（マスフローコントローラ）は、奥が深いです。
まだまだ、書ききれなかった項目もあります。
それらについても、いずれ記事を書こうと思っています。

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50:今後のビュルケルトの展開について、教えてください。

今後もビュルケルトでは、お客様のご要望にお応えできる
ような、製品を作ってまいります。
そのいくつかをご紹介します。

１）大流量MFCの開発
　現在より、大きな流量を制御できる、MFCを検討しています。
　　対象は、現在ビュルケルトのラインナップで、最大の流量
　　を制御できる、Type8626です。
　現在：90Nm3/Hr（窒素ガス／空気）
　　　　10.5Nm3/Hr（水素ガス）
　将来：150Nm3/Hr（窒素ガス／空気）
　　　　60Nm3/Hr（水素ガス）
　そのためには、よりオリフィスが大きく、高精度、高感度な
　比例電磁弁を開発しなければ、なりません。
　現在、その開発に取り組んでいます。

２）液体用MFC Type8718　の開発
　これは、現在実用寸前の段階です。
　現在は、まだ気体用のMFCしか、ビュルケルトでは製造して
　おりませんが、ビュルケルトの得意とする、高精度、高感度
　比例電磁弁に、微少液体流量測定技術を組み合わされば、
　従来より、はるかに高い性能を持つ、液体用MFCが、できます。
　2008年、発売開始の予定です。

３）圧力コントローラ Type8731　の開発
　本来であれば、流量ではなくて、圧力を制御すべきところ、
　気体が存在していることを確認するために、MFCを使っている
　お客様も、いらっしゃると聞きます。
　微妙な圧力を、きっちり制御できる装置を望まれている
　お客様のために、圧力コントローラを開発します。
　こちらも、2008年、発売開始の予定です。

今後も、ビュルケルトの流体制御技術に、ご期待ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

というわけで、MFCに関する50の質問に、お答えしました。
疲れました（笑）
他に、ご質問ありましたら、コメントや、ビュルケルトホーム
ページからのお問合せへ、ご連絡ください。

49:MFCの制御係数の変更はできますか？

MFCは、内部で制御を行っています。
制御係数といえば、「PID制御」が有名ですよね。
他社のMFCでは、この制御数値が固定である場合が、多いです。

ビュルケルトでは、この制御係数を変更することができます。
変更の方法は、パソコン通信ソフト「mass flow communicator」
を通じて行います。
この中の「contoller dynamics」が、この制御係数になります。

で、ここで注意なのですが、「PID」なら、３つ変数があります
が、「contoller dynamics」は、変数が１つです。
この違いは、何かといいますと、
まずPIDの「D」は、時間遅れを是正する、変数です。
ビュルケルトのMFCは、計測にかかる時間が、0.1秒以下と
非常に早いため、時間遅れを想定する必要がありません。
そのため、「D」変数が存在する意味がありませんので、
削除しました。
そして、「P」と「I」ですが、「I」を「P」に連動させる
ことで、この２つの変数を１つにまとめました。
そのため、変数が、１つしかありません。

ビュルケルトのMFCは、高速応答、高速安定が特徴です。
そのために、存在してはならない箇所は削っております。
そのため、制御係数の変更は可能ですが、その変数はたった
１つに、集約しました。
安定が遅い場合、この「contoller dynamics」が適切な値で
無いと考えられます。
試運転で、これを調整してください。

また、この数値をキャリブレーション時に設定することは、
できません。なぜなら、外乱要因や、実際の設定流量の変更
頻度など、現場でしかわからない要素まで含めないと、
適切な値は選定できないからです。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

48:Type8626のアンモニア仕様とは、どのようなものですか？

Type8626は、大型のMFCです。
バイパスを使わず、センサが直接流体に触れる方式のため、
高精度で高感度、高速で流量の測定が可能です。
ただ、センサが剥きだしであるため、測定するガスに
高い腐食性があると、センサが傷んでしまうっていう
欠点があります。

アンモニアガスも腐食性が高いため、センサが故障してしまう
ことがありました。
それを解決するために、アンモニア仕様では、センサ部を、
パリレンコーティングしています。
パリレンは、高耐食の樹脂であり、また蒸着によるコーティング
が可能なため、薄膜のコーティングが可能です。
そのため、腐食に強いMFCの製造が可能となりました。

（昔は、金メッキでした。現在は、金メッキから、
　パリレンコーティングに移行しております。）

アンモニアガスを、最大60Nm3/hrまで制御することが、可能です。
アンモニアガス流量の測定で、お困りでしたら、ビュルケルト
までお問合せください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

47:トレーサビリティーの証明書の発行は、可能ですか？

可能です。
ただ、何も言われないと、発行はされないので、
事前にご連絡ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

46:アナログ信号は、どのタイプに対応していますか？

アナログ信号は、下記の４種に対応しています。
・4-20mA信号
・0-20mA信号
・0-5V信号
・0-10V信号

アナログ信号とは、現在の流量をMFC/MFMから出力する信号と、
調整する流量を指令する、MFCへ入力する信号です。
（MFMには、入力信号は、ありません。
　MFMは、測定だけを行いますので。）

どの信号がよいか、ご指示ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

45:真空で、MFCは使えますか？

真空は、MFC/MFMと相性が悪いです。
MFC/MFMは、熱の伝わりを測定原理としています。
高真空状態では、熱は伝わりません。
魔法瓶の原理ですよね。熱は媒体を介して伝わります。
高真空では、その媒体が非常に少ないわけですから。

どのくらいの真空度まで使えるか、というのは、
ガスの種類、流量、MFC/MFMの機種によって、
大きく変わるので、一概には言えません。
ただ、真空は、MFC/MFMの苦手とするところで、
それは測定原理に関わることなので、改善は非常に難しいです。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

44:最低動作差圧は、どのくらいですか？

ビュルケルトのMFCには、最低動作差圧の規定がありません。
他社製品なら、カタログに必ず書いてある事項です。
それは、下記の２つの理由によります。

１）MFMの圧力損失が非常に低い
　・CMOSensセンサ：3kPa以下
　　（Type8711/8712/8713など）
　・インラインセンサ：1.5kPa以下
　　（Type8626など）
　MFMは稼動部分がありませんから、

２）比例電磁弁のラインナップが豊富
　そのため、低い差圧で動く比例電磁弁、つまりオリフィスの
　大きな比例電磁弁を選択することができます。
　差圧が5kPaしか、無いですが、といわれれば、
　よりオリフィスの大きな比例電磁弁を選べば、大丈夫です。

ということで、非常に動作差圧が低いです。
とにかく、流れてくれれば、何とかなるって感じです。

ただ、非常に差圧が低い状況では、MFCとして、完成したもの
よりも、MFMと比例電磁弁と、別々に設置した方が、いい場合
もあります。
その辺りまで、きちんと状況を想定して、ビュルケルトでは、
機種の選定を行います。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

43:Type8626は制御範囲が広いですが、すべて同じ形の製品ですか？

Type8626は、下記の広い範囲に対応しています。
　最小：0.5L/min〜25L/min
　最大；30L/min〜1500L/min
　（窒素にて）

実は、Type8626は、３タイプに別れています。
　小流量／標準／大流量の３タイプ

それぞれ、制御できる範囲が異なります。
例えば、窒素では、それぞれの最大流量は、
　小流量型：100/min
　標準型　：500L/min
　大流量型：1500L/min

また、水素ガスでは、
　小流量型：5/min
　標準型　：50L/min
　大流量型：175L/min
となっています。
微妙に比例関係になっていないのが、ちょっと…（笑）
実際の機種選定にあたっては、どの機種がふさわしいのか、
ビュルケルトにて行います。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

42:パソコンとの通信ソフトは、有料ですか？

無料です。
ビュルケルトのホームページから、ダウンロードが、
無料で行えます。
いくらでも、お好きにどうぞ♪

パソコンとの通信ソフトは、「mass flow communicator」って
いう名前になっております。
ビュルケルトのホームページで、どのタイプでも良いので、
MFC or MFMを検索すると、その右に、データシートや取説が
でてきますが、さらにその下に、このソフトがあります。
ここから、ダウンロードしてください。

ただ、通信ケーブルは別売りだったりします。
こっちは、買ってくださいね♪
また、パソコンには、RS-232Cポートが必要です。
こちらもご注意ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

41:MFCでタイトシャットは可能ですか？

タイトシャットとは、バルブが、完全に流体の流れを
止めるという機能です。
これを実現するには、バルブの性能／使い方　と、
２つの要素があります。

バルブの性能についてですが、ビュルケルトではリーク許容量を
1xe-7 mbar l/sec と定めています（ヘリウムにて）。
10のマイナス７乗です。
単位変換して、 Pa・m3/sec にすると、
1xe-8　10のマイナス8乗です。

これは、相当低い量です。MFCの上流から下流には、
ガスがダダ漏れっていうMFCもあるみたいですけど、
ビュルケルトは、かなりきっちり止めます。

そして、使い方についてですが、ビュルケルトのMFCは、
設定値の2%(高機能1:500制御比MFCでは、0.2%）を下回ると、
比例電磁弁への電源をオフにしてしまいます。
だから、信号がちょっとブレたりして、漏れるなんてことは
発生しません。
だから、高信頼のマスフローという、ご評価を頂いています。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

40:故障修理依頼の場合、どのような情報が必要ですか？

なるべく詳しい情報を教えてください。
詳細な情報は、実際に速やかに修理にあたる場合でも、
また再発防止の上でも、非常に重要です。

特に重要なのは、下記の通りです。
・流体の条件（流体の種類、流量、圧力）
・水や固形物が入る状況であったか、上流のフィルタの状態
・周囲の状況（温度や埃などの環境）
・電源電圧や信号電圧、フィールドバスの通信状況
・故障の状況
　（流量がでない、流量がずれている、電磁弁があかないなど）

ご協力のほど、よろしくお願い致します。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

39:再校正に必要な時間は、どのくらいですか？

基本的には、約１ヶ月くらいです。

・日本からドイツに送付するのに、約１週間
・工場にての作業に１〜２週間
・ドイツから日本に送付するのに、約１週間

という内訳です。

こんなには待っていられないよっていうお客様には、
特別な対応を、工場と相談します。

また、特殊な混合ガスの場合には、その調達に時間がかかる
（混合ガスのミキシング等に）場合もありますので、
事前にご連絡があれば、その準備が行えますので、
事前のご連絡をお願いします。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

38:MFCを再校正で返却したとき、比例電磁弁は交換しますか？

特に指示なき場合には、比例電磁弁の交換は行いません。
明らかな異常が無い場合には、修理も行いません。
オートチューンを行い、作動の動きをチェックします。

ただ、再校正中やオートチューンにて、何か異常を感じたら、
内部のチェックを行います。
このとき、比例電磁弁の修理や交換が必要であるなら、
その旨はユーザー様にご連絡を行い、その後の処置について
指示を仰ぐように、ビュルケルトでは対応します。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

37:当初予定していた流量・圧力が変わってしまった場合、再校正するだけで、使用できますか？

MFCは、もともと流量を測定／調節できる幅をもっています。
ですので、多少の変更であれば、特に再校正しなければ、
ならないというわけではありません。

ある程度、変更になるならば、再校正をした方がよい場合も
あります。

しかし、大きく変更する場合には、そのMFMの測定範囲を超えたり
比例電磁弁の調整幅より大きくなったり、逆に小さすぎて調整が
難しくなる場合もあります。
その場合には、新規の機種と交換しないと、うまく調節できない
場合も考えられます。

だから、一概に大丈夫とは言い切れません。
ある程度とか、大きく変更と、抽象的な言い方で、すみません…
具体的に検討しないと、わからいことなので…

ご心配の場合には、ビュルケルトまでお問合せください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

36:オートチューンとは、どのような機能ですか？

オートチューン（Autotune）とは、MFCの内部チェック機能です。
主としては、比例電磁弁の操作を確認する機能です。
頻繁に行う機能ではありませんが、設置を変更した場合、
圧力が変更になった場合などのときに、行ってください。

その際、下記に注意してください。
・実際に使用するガスの圧力をかけてください。
　つまり、実際に使用するガスを流してください。
・オートチューンの最中は、比例電磁弁が、自動的に開閉を
　しますので、安全を確保してください。

オートチューンが終わったら、その結果を内部メモリに自動的に
書き込み、今後のMFCの運転に、使用します。

オートチューンは、バイナリ入力信号orフィールドバス信号で
開始します。遠隔操作も可能ですので、お役立てください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

35:特殊なガスの場合でも、対応できますか？

ビュルケルトでは、前述の通り、すべて実ガス校正を行って、
出荷いたします。
一般的なガスであれば、ビュルケルトの工場側で、そのガスを
用意して、対応いたします。

ただ、そのガスが、あまりに特殊なガスであり、入手が困難で
あれば、ユーザー様にご用意いただいたガスで、実ガス校正を
行う、という対応も可能です。

その際、ビュルケルトの工場（ドイツ）まで送付しなければ
なりませんので、輸出の可否、安全性などを考慮しなければ
なりません。
詳細は、お問合せください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

34:ガス（気体）中に、粉などの固形物があっても、大丈夫ですか？

粉などの固形物は、MFC/MFMにとって、大敵です。
上流側にフィルタを取付けることを、推奨します。

粉などの固形物と、水などの液体がMFC/MFMに入ることが、
故障原因の１位です。
だから、粉が入るかもしれない場合には、絶対に
フィルタをつけてくださいね。
ほんとに、お願いしますね。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

33:MFCに水が入ると、どうなりますか？

現在、ビュルケルトのMFC/MFMは、ガス（気体）専用です。
液体用MFC/MFMは、2008年発売開始予定です。
（その後、本社から何も連絡が来ませんが…）

なので、液体が入らないっていう前提で、MFC/MFMは設計されて
おります。そのため、水が入っていいことは、何もありません。

他社製品ですと、水が入ってセンサが壊れてしまった、
ということが、よくあるみたいです。
ビュルケルトのMFC/MFMは、センサ部が他社製品より、
水に強いので、運が良いと、壊れないかもしれません。

また、他社製品では、バイパスのキャピラリ（直径0.2mm程度）
を使っているため、すぐに詰まりやすいです。
しかし、ビュルケルトの場合は…

・インラインセンサ（Type8626など）
　　そもそもバイパスがありません。
　　本流に直にセンサがついています。

・CMOSensセンサ（Type8711,8712など）
　　バイパスが、2mm程度なので、キャピラリよりはるかに
　　広く、詰まりが抜けやすいです。

・キャピラリセンサ（Type8710など）
　　キャピラリなんで、詰まると大変です…

なので、壊れにくい機種もあります。

もちろん、水が絶対に入らないように設計していただきたいの
ですが、もし水が入ってしまったら、すぐに乾燥窒素ガスなど
を、なるべく大量に流してください。
電源を落とすと、比例電磁弁が開かず、流れませんので、
ご注意ください。
そして、できれば24時間ほと、そのままにしてください。
乾燥窒素が、うまく水を乾かしてくれれば、運がよければ、
故障しないですむかもしれません。
でも、試さないでくださいね。本当に壊れるかもしれませんから…

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

32:塩素ガスやオゾンガスは、測定できますか？

ビュルケルトのMFC/MFMの特徴である、ガス直接測定方式では、
塩素ガスやオゾンガスにより、測定部が腐食されてしまうため、
扱うことができません。
ガス直接測定方式は、下記の機種があります。
・インラインセンサ方式
　　Type8626(MFC) / Type8006(MFM)
　　Type8716(MFC) / Type8706(MFM)
・CMOSens方式
　　Type8712(MFC) / Type8702(MFM)
　　Type8711(MFM) / Type8701(MFM)

バイパスセンサであれば、ガスが直接センサに触れないので、
測定することができます。
この方式を採用しているのは、
　　Type8710(MFC) / Type8700(MFM)

ガスの腐食性については、ご注意ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html