CMOSセンサというより、MEMSセンサといった方が、イメージしやすいですかね？
CMOSセンサ(MEMSセンサ)の特徴は、センサが流体に対してむき出しで、センサが実際に触れます。そのためキャピラリの外まで熱が伝わることを待つ必要が無く、流量が早く測定できます。
流量を計測する所要時間は、最短0.005秒と、非常に高速です。
一般のキャピラリセンサでは、1〜10秒なので、これと比較すれば、非常に高速です。
ただ、センサがむき出しのため、腐食性ガスに弱いです。
正確な流量を、早く測定したい場合に、有効なType8701 MFM(CMOSセンサ)です。
ご興味いただいたら、ビュルケルトまで、お気軽にお問合せください。
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