２ガス校正という方法があります。
本来は、水素ガスとヘリウムガスなど、異なるガスのそれぞれで、
校正を行い、水素ガスを制御する場合と、ヘリウムガスを制御
する場合と、内部スイッチを切替えることで、
適切な計測と制御を行う、というものです。
ですが、この２ガス校正には、裏技があります。
この裏技は、流量を制御する範囲が広い場合に有効です。
例えば、1〜100 SCCMまで制御を行いたいとします。
通常でしたら、100SCCMで、実ガス校正の最大流量になります。
しかし、２コ目の校正で、10 SCCMにします。
すると、1 SCCMと低い流量を制御するときの精度が格段に上昇します。
誤差には、読み値誤差と、フルスケール誤差がありますが、
このフルスケール誤差が小さくなるんですね。
だから、１台のマスフローコントローラ（MFC）で、
幅広い流量レンジを制御したい場合に、非常に有効な方法です。
また、２つの切替は、内部スイッチで
（バイナリインプットのある端子とある端子を短絡する。
電圧はかけない。端子番号は、形式により異なる。）
簡単に切替えられます。
・１つめの校正 0〜100 SCCM
・２つめの校正 0〜10 SCCM
例えば、ある工程において、50 SCCMを制御したいなら、１つめを。
5 SCCMを制御したいなら、２つめを選択すればいい、というわけです。
但し、それぞれの校正範囲において、4-20mAの幅が変わります。
ので、ご注意ください。
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