これが、Type8626 マスフローコントローラ(MFC)の外観です。
窒素ベースで、最大1500NL/minまで、制御できます。
このMFCの特徴は、
・MFCにしては、かなり大流量まで測定できること
・それに伴い、比例電磁弁のオリフィスも大きいこと
・応答速度が非常に速いこと
流量計測だけなら、0.01秒程度
比例電磁弁を使っての、流量制御の安定までは、0.5秒以内
・高い精度
・DeviceNet や Profibus にも対応バージョンがあること
・FKMまたはEPDMシールなので、漏れが非常に少ないこと
これは、外部漏れだけではなく、１次側から２次側への漏れも、
ほとんど無いということです。
こんな特徴を持つ、高性能マスフローコントローラ Type8626です。
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