これが、Type8712 マスフローコントローラ(MFC)の外観です。
窒素ベースで、最大50NL/minまで、制御できます。
逆に少ないところでは、1Ncc/min (NCCM)まで、検出可能ですが、
正直、10NCCMを下回ると、ちょっと精度がつらいですかね。
このMFCの特徴は、
・最大1:500のレンジアビリティーを持つ比例電磁弁Type2822が搭載可能
・応答速度が非常に速いこと
流量計測だけなら、0.005秒程度
比例電磁弁を使っての、流量制御の安定までは、0.3秒以内
・高い精度
・DeviceNet や Profibus にも対応バージョンがあること
・FKMまたはEPDMシールなので、漏れが非常に少ないこと
これは、外部漏れだけではなく、１次側から２次側への漏れも、
ほとんど無いということです。
こんな特徴を持つ、高性能マスフローコントローラ Type8712です。
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