主に、バルブやポンプに使われています。
バルブでは、
１）プロセスバルブとしての、ダイヤフラムバルブ
そのままの名前です（笑）。
バルブは、流体を流す／止める のを切り替えるのに、使います。
この、流体を流す／止めるところに、ダイヤフラムという、ゴムの
膜（これが、ダイヤフラム）を使います。
ダイヤフラムはゴムなので、伸びたり縮んだりしますが、
この弾性を利用します。
ダイヤフラムの真ん中に弁棒を設け、この弁棒が上下することで、
流路をダイヤフラムが遮断したり、開けたりします。
ビュルケルトでは、
・Type2030/2031 ダイヤフラム弁
・Type2730/2731 ダイヤフラム型コントロール弁
・Type2035 ロボラックス などがあります。
２）ダイヤフラム電磁弁
ビュルケルトでは、MicroFluidicsの、フリッパー電磁弁や
ロッカー電磁弁が、それにあたります。
電磁弁は、動作原理として、金属を使います。電磁石に引っ張られる
ためには、金属の稼動部分が必要です。
しかし、それでは薬液用や医療用、バイオ用など、金属を嫌う場合
は、ちょっと問題ありますよね。
そのため、この流路と金属部分を分離するために、ダイヤフラムを
使用します。
３）ダイヤフラムポンプ
これは、ダイヤフラムが上下することで、部屋の体積が上下する
ことで、流体を吸ったり、吐いたりすることで、ポンプとして
使用します。
ビュルケルトでは、Type7604マイクロポンプや、Type7616
ドージングユニット（ドージングポンプ）が、これにあたります。
バルブ以外では、圧力計の圧力を伝える役割もあります。
この場合、金属の薄い膜の場合もあります。
また、スピーカなどの音を伝える膜として、使われる場合もあるようです。
