バイパスを使わず、センサが直接流体に触れる方式のため、
高精度で高感度、高速で流量の測定が可能です。
ただ、センサが剥きだしであるため、測定するガスに
高い腐食性があると、センサが傷んでしまうっていう
欠点があります。
アンモニアガスも腐食性が高いため、センサが故障してしまう
ことがありました。
それを解決するために、アンモニア仕様では、センサ部を、
パリレンコーティングしています。
パリレンは、高耐食の樹脂であり、また蒸着によるコーティング
が可能なため、薄膜のコーティングが可能です。
そのため、腐食に強いMFCの製造が可能となりました。
（昔は、金メッキでした。現在は、金メッキから、
パリレンコーティングに移行しております。）
アンモニアガスを、最大60Nm3/hrまで制御することが、可能です。
アンモニアガス流量の測定で、お困りでしたら、ビュルケルト
までお問合せください。
MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html
