MFC/MFMは、熱の伝わりを測定原理としています。
高真空状態では、熱は伝わりません。
魔法瓶の原理ですよね。熱は媒体を介して伝わります。
高真空では、その媒体が非常に少ないわけですから。
どのくらいの真空度まで使えるか、というのは、
ガスの種類、流量、MFC/MFMの機種によって、
大きく変わるので、一概には言えません。
ただ、真空は、MFC/MFMの苦手とするところで、
それは測定原理に関わることなので、改善は非常に難しいです。
MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html
