最小:0.5L/min〜25L/min
最大;30L/min〜1500L/min
(窒素にて)
実は、Type8626は、3タイプに別れています。
小流量/標準/大流量の3タイプ
それぞれ、制御できる範囲が異なります。
例えば、窒素では、それぞれの最大流量は、
小流量型:100/min
標準型 :500L/min
大流量型:1500L/min
また、水素ガスでは、
小流量型:5/min
標準型 :50L/min
大流量型:175L/min
となっています。
微妙に比例関係になっていないのが、ちょっと…(笑)
実際の機種選定にあたっては、どの機種がふさわしいのか、
ビュルケルトにて行います。
MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html




