時の圧力です。
使用圧力とは、現実に使用しているときの、気体の圧力です。
MFC/MFMの流量計測においては、圧力には依存しませんので、
圧力が変更になっても、構いません。上限の圧力を超えなければ。
ただし、比例電磁弁は、そう簡単ではありません。
比例電磁弁は、それぞれ各機種とオリフィスにより、最大締切圧力
が、決まっています。それを超える圧力では、比例電磁弁が開いて
しまう場合があります。
また、圧力が低くなりすぎて、比例電磁弁はがんばって100%の
開度になっているのに、流量が達しないってことも、あります。
圧力が変更になってしまう場合には、気をつけてください。
設計段階と、実使用段階で、圧力が変更になってしまったら、
ビュルケルトまでお問合せください。
場合によっては、MFMと比例電磁弁と、分離して使った方が、
(例えば比例電磁弁を状況にあわせて、並列に複数異なるオリ
フィス径のものを使う、など)
性能が向上する場合もあります。
MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html



