を設け、そのバイパスにコイルを巻いて、温度を測定する
方式です。
他社様のほとんどは、こちらの方式を採用しています。
インラインセンサとは、バイパスは設けずに、流路の中に
センサを設置して、直接流量を計測する方式です。
ビュルケルトでは、下記の機種にこの方式を採用しています。
・Type8626/8716(MFC)
・Type8006/8706(MFM)
この方式により、下記の違いがあります。
・セッティングタイム（ウォームアップタイム）
旧式バイパスセンサでは、電源を入れてから24時間しないと
流量が測定できません。
ビュルケルトのインラインセンサでは、これが10分程度と
非常に短縮されています。
・温度計測の精度と速さ
旧式バイパスセンサでは、バイパス管の外で、温度を測定
するので、測定精度が低く、また温度の伝わりにくさゆえに
測定に時間がかかります。
結局、流量を測定するにも、精度が悪く、測定点に達する
までに数秒かかることもあります。
ビュルケルトのインラインセンサでは、流体とセンサが
直接触れているので、温度計測がすばやく、精度が高いです。
結果として、流量も精度よく、測定点に達するまで、
0.5秒以下と、驚異のすばやさを達成しています。
流量の変動が大きい場合にも、きちんと追従します。
・流路が分離されている
旧式パイパスセンサでは、バイパス管の材質を腐食に高い
ものを選べば、腐食性の高いガスでも測定できます。
ビュルケルトのインラインセンサでは、センサ部が剥きだし
のため、センサが流体により腐食されてしまうと、
測定ができなくなってしまいます。
ビュルケルトのMFC/MFMが腐食性の高いガスが苦手なのは、
これが原因です。
MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html
