コンバーションファクターって、言葉があります。
MFM（マスフローメータ）が、流量を測るときの係数です。
ガスの種類によって、決まる係数で、ごく簡単に説明すると、
熱の奪われ係数です。
ガスの種類によって、異なるコンバージョンファクタがあります。
MFMでは、測定するガスに合わせて、コンバージョンファクタを
設定しないと、とんでもない流量がでてしまうことになります。
MFM（マスフローメータ）は、コンバージョンファクタを変更
すれば、いろんなガスの測定をすることができます。
でも、MFC（マスフローコントローラ）では？
測定はできるけど、コントロールできますか？
比例電磁弁は、バルブの開度を変更して、調整します。
開度によってかわるのは？ 体積流量です。
配管内の物理的な面積を変更するのが、比例電磁弁です。
それによって変化するのは、体積流量です。
ここが、MFM（マスフローコントローラ）の最大の矛盾です。
測定しているのは、質量流量なのに、
制御しているのは、体積流量なんですよね。
体積流量は、温度や圧力によって変化するもので、
理想気体では、質量とは何の関係もありません。
だから、コンバージョンファクタを変更したって、
比例電磁弁は、変更されるわけじゃありません。
だから、ほんとに制御できるのか、わかりませんよ。
ビュルケルトのMFC（マスフローコントローラ）には、
コンバージョンファクタを変更する機能はありません。
そんな機能を使ってしまうと、測定はできるかもしれませんが、
制御できなくなります。たまたま、同じKv/Cv値ならいいですが、
そう毎回うまくいくものではありません。
だから、コンバージョンファクタを変更できる機能なんて、
不要なんです。って、ビュルケルトでは考えています。
どうもMFCの制御がうまくいかないなって考えているなら、
制御部（比例電磁弁）に、ちょっと目をくばってください。
ほんとうに制御に適正な比例電磁弁を使っていますか？
