一般に流量計の名称は、
・パドル式流量計
・ギア式流量計
・電磁流量計
・面積式流量計
・差圧式流量計
など、まだ色々ありますが、「測定原理」を名称とすることが多くあります。
では、マスフロー流量計も「マスフロー」という流量の計測方式があるのかというと、そういうわけではありません。
「マスフロー」は日本語に直すと「質量流量」です。
質量＝重さ の流量計となります。
でも、普通流量といえば、「L/min」「cc/sec」など、
「体積/時間」で表すことが多くあります。
質量っていったら、何kg ですよね。
体積と質量には、密接な関係があり、気体の場合、体積と質量は、温度と圧力を介することで、変換することができます。
別の言い方をすると、
質量は、気体の分子の数と同じであり、温度や圧力が変わっても変化はありません。
体積は、温度が上がると膨れ、圧力が上がると体積が減ります。温度や圧力で、どんどん変化していってしまうんですね。
そのため、体積流量を測定した場合、温度や圧力で異なるので、補正しなくてはなりません。
しかし、質量流量を測定した場合には、温度や圧力での補正は必要ありません。質量流量の測定には、そのようなメリットがあります。
ところで、この質量流量の計測方式には、
・熱式（サーマル式）計測法
・コリオリ式計測法
が、代表的な方式であり、
一般にマスフロー流量計というと、熱式（サーマル式）流量計を指します。
最初のパドル式流量計のような言い方に合わせるならば、
【熱式質量流量計】または【サーマル式質量流量計】という言い方が、正しいのかもしれません。
でも、なぜかこのような呼び方をすることは、ほとんど無いように思います。なぜなんでしょう？ 理由はわかりませんが…
ご興味いただいたら、ビュルケルトまで、お気軽にお問合せください。
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