34:ガス（気体）中に、粉などの固形物があっても、大丈夫ですか？

粉などの固形物は、MFC/MFMにとって、大敵です。
上流側にフィルタを取付けることを、推奨します。

粉などの固形物と、水などの液体がMFC/MFMに入ることが、
故障原因の１位です。
だから、粉が入るかもしれない場合には、絶対に
フィルタをつけてくださいね。
ほんとに、お願いしますね。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

サイトマップ

このブログのサイトマップ、カテゴリの説明です。

・ビュルケルトからのお知らせ
　　ビュルケルトからのお知らせです。
　　http://burkert.seesaa.net/category/3204753-1.html

・日記
　　その名の通り、日記です（笑）
　　思いついたことを、思いついたままに書いてます。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2869127-1.html

・ドイツ／上海研修日記
　　ビュルケルトでは、研修をよくやります。
　　ドイツ、フランス、中国、台湾など、そのときどきで場所はかわりますけど。
　　2007/9/16〜23のドイツでの研修日記と、
　　2007/11/11〜14の上海での研修日記です。
　　もしかしたら、今後違う国の研修日記も追加するかも。
　　http://burkert.seesaa.net/category/3908885-1.html

・よくあるご質問(FAQ)
　　ビュルケルトによく寄せられる、よくあるご質問に
　　ついて、記載してります。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2869233-1.html

・流体制御に関連した用語集
　　特殊な業界のせいか、他であまり聞かない用語が、
　　流体制御の世界では、よくでてきます。その中で、
　　わかりにくいものを、解説しています。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2958588-1.html

・プロセスバルブ
　　プロセスバルブの定義って、難しいですね（笑）
　　一般的に、工業用途で使われるバルブです。
　　水道や家電などより、もっとごつくて、頑丈ばバルブです。
　　ご家庭じゃ、まずお目にかかれないバルブです。
　　
　　ビュルケルトでは、プロセスバルブとして、下記の機種が
　　あります。
　　・アングルシート弁
　　・グローブ弁
　　・ダイヤフラム弁
　　これらについて、解説しております。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2918100-1.html

・MFC（マスフローコントローラ）
　　気体の流量を測定し、かつ流量を制御する機器を、
　　MFC（マスフローコントローラ）と呼びます。
　　いろんな業界で使われていますけど、なぜか
　　ブラックボックスになっているようで、あまり知られて
　　いないみたいです。
　　なので、その解説を書いています。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

・MFCによくある50の質問(FAQ)
　　MFCって、ブラックボックスみたいで…（上述通り）
　　なので、よくある質問について、解説しました。
　　http://burkert.seesaa.net/category/3080906-1.html

・比例電磁弁／電磁コントロール弁
　　オンオフの電磁弁なら、家庭用の洗濯機や食器洗浄機でも
　　みかけますが、微妙に開度を調節できる、電磁弁は、
　　めずらしいかもしれません。
　　特殊なため、結構難しいところもあります。
　　その解説をしています。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2918159-1.html

・MicroFludics（微小流体制御技術）
　　医療、バイオ、分析などの特殊用途では、特殊な薬液を
　　使ったり、金属に触れてはいけないなど、いろいろ、
　　特別なご要求があります。
　　その声に応えるのが、このシリーズです。
　　電磁弁だけでなく、マイクロポンプもあります。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2918098-1.html

・AS-interface(ASi･アジ）フィールドバス技術
　　ようやく日本でもフィールドバス技術が使われだしました。
　　フィールドバス技術には、何種類もあり、いずれは
　　淘汰されていくのでしょうけれど。
　　その中で、現場に最も近い、最下層のフィールドバス
　　である、AS-interface（ASiバス）は、多くの業界で、
　　普及が進んでいます。
　　ビュルケルトでは、ASiバスの公開当初から、対応し、
　　バルブの分野の先駆者です。
　　この技術について、解説します。
　　http://burkert.seesaa.net/category/2918108-1.html

・センサ・流量計
　　流量計について、解説しています。
　　流量計って、たくさん種類があって、ややこしいです。
　　なるべく、わかりやすい解説を目指しますので、
　　暖かい目で、見守ってください（笑）
　　http://burkert.seesaa.net/category/3204756-1.html

・ビュルケルト型番一覧
　　200種類以上にも及ぶ、ビュルケルトの製品の簡単な案内です。
　　詳しくは、ビュルケルト公式ホームページに、
　　個別のデータシート（製品資料）があります。
　　http://burkert.seesaa.net/category/3204758-1.html

・ビュルケルト製品データ
　　細かいデータ集です。
　　ほとんど、パンダ丸が出張先で困ったときに、
　　携帯で見るために、作っています。
　　あまり、たたないかも（笑）
　　http://burkert.seesaa.net/category/3204761-1.html

ようやく、ブログ記事が400件を超えました。
まだまだ発展途上のブログですが、よろしくお願いします。
目指せ1000件！！
いや〜　きついな〜（笑）

カテゴリの分け方について、わかりにくいという声がありまし
たので、記載しました。

今後も、なるべく見やすいブログを目指して、ちょこちょこ
変更していくと思います。
ご意見ありましたら、ご連絡ください。

33:MFCに水が入ると、どうなりますか？

現在、ビュルケルトのMFC/MFMは、ガス（気体）専用です。
液体用MFC/MFMは、2008年発売開始予定です。
（その後、本社から何も連絡が来ませんが…）

なので、液体が入らないっていう前提で、MFC/MFMは設計されて
おります。そのため、水が入っていいことは、何もありません。

他社製品ですと、水が入ってセンサが壊れてしまった、
ということが、よくあるみたいです。
ビュルケルトのMFC/MFMは、センサ部が他社製品より、
水に強いので、運が良いと、壊れないかもしれません。

また、他社製品では、バイパスのキャピラリ（直径0.2mm程度）
を使っているため、すぐに詰まりやすいです。
しかし、ビュルケルトの場合は…

・インラインセンサ（Type8626など）
　　そもそもバイパスがありません。
　　本流に直にセンサがついています。

・CMOSensセンサ（Type8711,8712など）
　　バイパスが、2mm程度なので、キャピラリよりはるかに
　　広く、詰まりが抜けやすいです。

・キャピラリセンサ（Type8710など）
　　キャピラリなんで、詰まると大変です…

なので、壊れにくい機種もあります。

もちろん、水が絶対に入らないように設計していただきたいの
ですが、もし水が入ってしまったら、すぐに乾燥窒素ガスなど
を、なるべく大量に流してください。
電源を落とすと、比例電磁弁が開かず、流れませんので、
ご注意ください。
そして、できれば24時間ほと、そのままにしてください。
乾燥窒素が、うまく水を乾かしてくれれば、運がよければ、
故障しないですむかもしれません。
でも、試さないでくださいね。本当に壊れるかもしれませんから…

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

32:塩素ガスやオゾンガスは、測定できますか？

ビュルケルトのMFC/MFMの特徴である、ガス直接測定方式では、
塩素ガスやオゾンガスにより、測定部が腐食されてしまうため、
扱うことができません。
ガス直接測定方式は、下記の機種があります。
・インラインセンサ方式
　　Type8626(MFC) / Type8006(MFM)
　　Type8716(MFC) / Type8706(MFM)
・CMOSens方式
　　Type8712(MFC) / Type8702(MFM)
　　Type8711(MFM) / Type8701(MFM)

バイパスセンサであれば、ガスが直接センサに触れないので、
測定することができます。
この方式を採用しているのは、
　　Type8710(MFC) / Type8700(MFM)

ガスの腐食性については、ご注意ください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

31:MFCで、天然ガスは測定できますか？

原理的に、測定ができない、というこは、ありません。
ただ、注意しなければならないのは、天然ガスというのは、
ガス田の違いで、成分が異なっていることです。

MFC/MFMは、その測定原理から、混合ガスの場合は、
その成分が、予め決まっていることが、前提条件になります。
成分の比率が、常に固定であれば、問題ありませんが、
天然ガスは、産地や季節などで、成分が異なってきます。
MFCやMFMは、それには追従できません。

都市ガスの場合も、予め、どの種類の都市ガス（13Aガスなど）
か、予め決まっていないと、測定できません。
ご注意ください。

MFCについては、下記も参照してください。
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30:繰り返し性(repeatability)とは、何ですか？

繰り返し性(repeatability)とは、ある流量（例えば、0L/min）
から、ある流量（例えば100L/min）に変化させることを、
何回も繰り返し、その実測値をどの程度分布しているか、
それを表したものが、繰り返し性です。

MFC/MFMには、精度というものがあります。
これは、流量測定に関わるものです。
繰り返し性は、どちらかというと、比例電磁弁の性能にも、
関わります。
実際に使用されるにあたって、一般的に、その装置の試運転を
行い、適正な流量を設定されることが多いと思います。
このとき、適正な流量の値よりも、毎回流量が同じである、とい
うことが、実際の性能として、クローズアップされるケースが
多々あります。
例えば、製品の歩留まりに、より大きく影響するのは、
精度よりも繰り返し性の場合が多いようです。

他社のMFCのカタログには、繰り返し性という項目が
無い場合も多いです。
もしかしたら、繰り返し性という概念は、バルブ屋だから、
思いつくのかもしれませんね。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

29:キャリブレーション圧力と使用圧力は、違っても大丈夫ですか？

キャリブレーション圧力とは、その言葉通り、キャリブレーション
時の圧力です。
使用圧力とは、現実に使用しているときの、気体の圧力です。

MFC/MFMの流量計測においては、圧力には依存しませんので、
圧力が変更になっても、構いません。上限の圧力を超えなければ。

ただし、比例電磁弁は、そう簡単ではありません。
比例電磁弁は、それぞれ各機種とオリフィスにより、最大締切圧力
が、決まっています。それを超える圧力では、比例電磁弁が開いて
しまう場合があります。
また、圧力が低くなりすぎて、比例電磁弁はがんばって100%の
開度になっているのに、流量が達しないってことも、あります。

圧力が変更になってしまう場合には、気をつけてください。
設計段階と、実使用段階で、圧力が変更になってしまったら、
ビュルケルトまでお問合せください。
場合によっては、MFMと比例電磁弁と、分離して使った方が、
（例えば比例電磁弁を状況にあわせて、並列に複数異なるオリ
　フィス径のものを使う、など）
性能が向上する場合もあります。

MFCについては、下記も参照してください。
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28:MFCは、横向きでも、縦向きでも使えますか？

使えます。横向きでも、縦向きでも構いません。

ただし、縦向きか横向きか、予め指定してください。
MFC/MFMの計測では、配管の流れ中に、熱源から微量な熱を与え
て、その熱の伝わりかたが、気体の質量流量に依存することを
利用して、測定しています。
この熱が、流れの中で対流してしまう原因となり、センサ部付近で
変な流れができてしまい、それが流量計測に悪影響を及ぼします。

温度が高い流体は、下から上へ向かおうとします。これが、対流
ですよね。だから、MFC/MFMを横向き／縦向きで、対流の起こる
方向が、変わってしまいます。
また、流速が遅いほど、対流の影響は大きくあわられます。

ビュルケルトでは、予め横向き／縦向きをお伺いし、実際にその
方向で、キャリブレーションを行います。
それで、高い精度を維持しています。

ですから、予めMFC/MFMは取付方向を、決めておいてください。

MFCについては、下記も参照してください。
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27:体積流量では、スタンダードとノーマル(ノルマル)のどちらを使えばいいのですか？

どっちなんでしょうね？（笑）
一般的に、化学屋さんは、ノーマル（ノルマル）を使い、
物理屋さんは、スタンダードを使うって、聞いたことがあります。
例外も、たくさんありそうですけど。

大切なのは、どちらかに統一しておくことです。
両者には、約7％のずれがありますから。7％もずれてしまっては、
管理できなくなってしまいますよね。

また、他のメーカーでは、どちらか一方の状態に、固定してしま
っているところもありますので、メーカーを変更する場合には、
以前のメーカーの基準を、確認してください。

MFCについては、下記も参照してください。
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26:体積流量のスタンダードとノーマル(ノルマル)って、何が違うんですか？

基準の温度が違います。結論から、言うと。
それぞれの定義は、
・スタンダード：101.3kPaで、20℃です。
・ノーマル(ノルマル)：101.3kPaで、0℃です。

20℃の違いなんて、たいしたこと無いんじゃない？
って、思ってますか？ 気体の体積では、約7%も違います。
およそ、100NL/min⇔93.2sL/minです。

これは、ボイルシャルルの法則で、高校生のとき、習いましたよね？
遠い彼方の記憶ですが…

MFCについては、下記も参照してください。
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25:MFC/MFMの体積流量換算は、どうなっていますか？

くどいようですが、MFC/MFMは、質量流量を測定しています。質量流量は、例えば、g/minっていう単位になります。
気体の流量を表すのに、g/minは、一般的に使わないですよね。
パンダ丸は、そういう単位で扱うって、聞いたことは、一度も無いです。
あ、逆に質量単位で扱っている方がいらっしゃいましたら、コメントくださいませ。
で、実際には、体積流量(L/minなど)に換算して、4-20mA信号に振り分けます。
このときの体積流量換算は、スタンダードorノーマル(ノルマル)なのか、ということですが、ビュルケルトでは、どちらにも対応します。
だから、最初にどちらが良いのか、指示してください。

MFCについては、下記も参照してください。
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24:フルスケールレンジは、どんな気体でも同じですか？

気体の種類で、フルスケールレンジは大きく変わりますので、ご注意ください。
ビュルケルトのデータシートに記載のフルスケールレンジは、窒素or空気です。

例えば、Type8626では、窒素ガスでのフルスケールレンジは、1500NL/minですが、水素ガスでは、165NL/minになります。

かなり、違ってますよね。ご注意ください。詳しくは、ビュルケルトまでお問い合わせください。

MFCについては、下記も参照してください。
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23:フルスケールレンジに、入口/出口の圧力は影響しますか？

影響はしません。
ビュルケルトが、必ず入口/出口の圧力を確認するのは、比例電磁弁の選定と、MFC/MFMの許容圧力内であるかを、確認するためです。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

22:フルスケールレンジ(Qnenn)って、何ですか？

MFC/MFMが、制御/測定できる、最大値です。
例えば、Type8626は、最大フルスケールレンジが1500NL/minなので、これが制御/測定できる最大値です。
最小値は、この1/50だから、50NL/minになります。
実際には、Type8626の中にも、何種類かの機種があり、それぞれがカバーする、フルスケールレンジがずれていて、25〜1500NL/minになっています。
一台の機種で、25〜1500NL/minまで扱える、という意味では無いので、ご注意ください。

※上記流量は、窒素or空気での値です。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

21:どうして、実ガスで校正する必要があるのですか？

高い精度を、保つためです。
一言で言ってしまうと。

気体が、すべて理想気体であれば、理論上の計算だけで、
済むかもしれません。
しかし、現実の気体は、温度変化も直線的では無く、
気体の分子間の多くの物理的要素が、熱の伝わり方に影響します。

そのため、ビュルケルトのMFC/MFMでは、実ガス校正を行います。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

20:どうやって、キャリブレーションしているんですか？

ビュルケルトでは、出荷前に、１台ごとに、
実際に使うガスにて、キャリブレーションを行っています。

実際のキャリブレーションは、より精度の高い流量計との
比較で行っています。
その測定の内部の値と、出力される値を、どちらも確認を
行います。

出荷されたMFCには、必ずテストレポートが付属され、
このときのキャリブレーションの結果が記載されています。
また、紙だけでなく、MFC/MFMの内部のメモリ(EEPROM)にも
データは保存されています。
このデータを見るには、mass flow communicator という
ソフト（無料ダウンロード可能）を使えば、可能です。
あ、RS-232Cが接続できるパソコンと、ケーブルが必要です。
ソフトは、windows系のみの対応です。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

19:ガスを変更することはできますか？

基本的には、ガスを変更することは、できません。

メーカーによっては、コンバージョンファクタを変更すれば、
１台のMFCで、多種のガスで使えます、と謳っています。
でも、ガスの種類を変えたら、比例電磁弁も変えなければ
なりません。たまたま、同じようなKv値/Cv値になれば、
いいですけど。
それで精度良くコントロールするのは、とても無理でしょうね。

それについて詳しいことは、
・MFCの中の比例電磁弁(3)　コンバージョンファクタのウソ
http://burkert.seesaa.net/article/38857534.html
を、参照してください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

18:MFCのスパンを決定する要素は何ですか？

MFCのスパンを決定する要素は、下記があります。
・比例電磁弁のKv値/Cv値のスパン
・MFC入口の圧力
・ガスの密度
・ガスの温度
・MFC出口の圧力（臨界状態であるか、否かも含めて）
・センサの測定範囲

マスフローって、質量流量計測だから、温度や圧力は、関係無い
のでは？　って思ったアナタは、とても鋭い！
これらの要素は、比例電磁弁の選定を行うときに使用します。
MFCでは、計測（MFM部）は、質量流量ですが、
制御（比例電磁弁）は、体積流量で行います。

ここが、ある意味矛盾ですよね。
それについて詳しいことは、
・MFCの中の比例電磁弁(3)　コンバージョンファクタのウソ
http://burkert.seesaa.net/article/38857534.html
を、参照してください。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

17:MFCの制御幅（スパン）は、どのくらいですか？

標準、50:1です。
つまり、例えば100L/minのMFCなら、その1/50である、
2L/minまで、制御幅を持っています。

しかし、Type8712では、500:1という、驚異のスパンを持った
MFCを使用することができます。
それでも、0.1L/min以上の流量が必要ですので、
これ以下の流量の制御はできません。

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html

16:特殊電源は必要ですか？

ビュルケルトのMFC/MFMは、特殊電源を必要としません。
通常のDC24V ±10% の電源を、ご用意ください。

他の電圧への対応は、現在のところ、行っておりません。
また、乾電池式も、ございません。
なにとぞ、DC24V電源を…
普通ので、良いので…

MFCについては、下記も参照してください。
http://burkert.seesaa.net/category/2918097-1.html